氣體吸附器

產品簡述

半導體或 TFT 製造業,製程中產生之氣體於真空幫浦與 Local Scrubber 之間裝設,氣體吸附器,可提前吸附殘餘器體,防止結晶體對於管徑之阻塞。吸附器之構造,採用不銹鋼雙面吸網,內夾層水冷式雙迴路冷卻管可拆式吸附式。

 

詳細說明

將 CVDA 製程時,所產生之氣體,利用氣體吸附器內低溫,將細粉塵結晶於氣體吸附器內,減少Local Scrubber PM 次數,縮短 PM 工時,減少 Local Scrubber 之 Loading,增加 Local Scrubber Performance,降低廠務主風管塞管之疑慮,降低電熱器之成本,延長幫浦之壽命,降低幫浦維修成本。

 

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